檢驗設備

機型:SV-3020
量測能力(XYZ):300mm*200mm*150mm
量測精度:±0.1um
數量:2台

機型:KEYENCE LM-1000
量測能力:225mm – 125mm
量測精度:±0.1um
數量:1台

機型:Mitutoyo FTA-S4D3000
量測能力:100mm
量測精度:0.8um/100mm
數量:1台

機型:Mitutoyo QMH-350AX
量測能力:0~465mm
量測精度:± (2.4+2.1 L/600)um
數量:1台

機型:SYLVAC 910.1502
量測能力:0-150mm
量測精度:20um
數量:5台

機型:SYLVAC 930.0306
量測能力:0-30mm
量測精度:3um
數量:5台